产品名称：高频脉冲等离子体氮化电源
输出功率：500kW
电压输入：AC 380V
电流输入：0-1000V
电压输出：40-1000V
电流输出：800-1000A
负高压输出：-1000V至-40V
工作频率：0-5000Hz
显示屏控制程序：15寸触摸屏
手动控制：
电压调节：多圈电位器
电流调节：多圈电位器
1200V 800A断路器、急停按钮
通信：RS485
冷却方式：内外兼容水冷+强制风冷

产品名称：160kW大功率直流磁控溅射电源柜
输入电压：三相380V/50HZ正弦交流；
输入电流：≤100A；
输入电压误差：≤额定值的±10%；
三相供电电压不平衡率：≤5%；
输入过压保护：≥420V；
输入欠压保护：≤350V；
开机过冲电流：≤150A。
输出恒定模式：恒流；
电源输出电压：≤1kV；
电源输出电流：0-40A（可调）；
输出纹波：±1%；
输出功率：≤40kW；
输出过压保护：≥1.1kV；
输出过流保护：≥44A；
输出有短路保护；
内部温度报警阈值：65℃；
冷却方式：风冷 + 水冷。
海拔：工作时海拔不超过4500米；
使用环境温度：0°C～40°C；
储存温度：0°C～70°C；
空气相对湿度≤90%；无冷凝水或结冰；
空气中不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒以及吸潮后会变成导电的颗粒；

产品名称：100kW直流磁控溅射电源
输入电压：三相380V/50HZ正弦交流；
输入电流：≤50A；
输入电压误差：≤额定值的±10%；
三相供电电压不平衡率：≤5%；
输入过压保护：≥420V；
输入欠压保护：≤350V；
开机过冲电流：≤150A。
输出恒定模式：恒流；
电源输出电压：≤1kV；
电源输出电流：0-20A（可调）；
输出纹波：±1%；
输出功率：≤20kW；
输出过压保护：≥1.1kV；
输出过流保护：≥22A；
输出有短路保护；
内部温度报警阈值：65℃；
冷却方式：风冷 + 水冷。
海拔：工作时海拔不超过4500米；
使用环境温度：0°C～40°C；
储存温度：0°C～70°C；
空气相对湿度≤90%；无冷凝水或结冰；
空气中不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒以及吸潮后会变成导电的颗粒；

1300kW直流电源：本方案根据相关标准以及设计需求设计，主要包含市电输入控制、APFC电能质量治理、全控整流、操控系统等四大板块。
输入电压：380VAC±15%；
输出电压：DC0V～DC1026V；
输出电流：DC0A~1300A；
输出功率：≥1300kW；
功率因数：≥0.9；
结构：采用30寸标准机柜，后端出线；
整机效率：≥95%；（计算值95.7%）；
状态监测要求：具备RS485通信（标准帧），可监测电压、电流状态，并具备输出限流、过流等保护功能；
工作时海拔不超过4500米；
使用环境温度：0℃～60℃；
储存温度：0℃～70℃；
无导电尘埃的地方；
无爆炸危险的环境；
不含有能腐蚀金属及绝缘的气体及蒸汽的环境；
空气相对湿度≤90%；无冷凝水或结冰；
空气中不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒以及吸潮后会变成导电的颗粒；
在垂直面倾斜不超过5度及无剧烈振动和冲击的地方。

产品名称：40kw中频磁控溅射电源

多功能镀膜电源集成了离子加速与薄膜原料加热双重功能，适用于集团离子束镀膜与多弧离子镀膜，还可以用于直流溅射镀膜、直流偏压溅射镀膜等镀膜设备。
多功能镀膜电源的基本参数：
引弧电流0~10A，
加热电流0~120A，
工作电压0~1200V，
输出功率0~120kW，
输入电压：三相380V
输入电流：≤100A
输出电压：≤1kV
输出电流：0~20A（可调）
输出纹波：±1%
输出功率：≤20kW
输出频率：80kHZ
冷却方式：水冷或风冷

产品名称：40KW偏压电源
输入电压：三相380V/50HZ正弦交流
输入电流：≤100A
输出电压：≤1kV
输出电流：0~40A（可调）
输出纹波：±1%
输出功率：≤40kW
冷却方式：水冷或风冷

产品名称：20KW直流磁控溅射电源
输入电压：三相380V/50HZ正弦交流
输入电流：≤50A
输出电压：≤1kV
输出电流：0~20A（可调）
输出纹波：±1%
输出功率：≤20kW
冷却方式：水冷或风冷

产品名称：40kw中频磁控溅射电源
输入电压：三相380V/50HZ正弦交流
输入电流：≤100A
输出电压：≤1kV
输出电流：0~40A（可调）
输出纹波：±1%
输出功率：≤40kW
输出频率：80kHZ
冷却方式：水冷或风冷