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100kW直流磁控溅射电源
模块化扩展设计
- 功率灵活配置：支持多模块并联组柜，单模块20kW，最高可扩展至100kW（5模块并联），满足大功率镀膜需求；
- 动态负载适应：阻抗范围1:7（94-667Ω），无需更换变压器分接头即可适配不同靶材。
核心功能优势
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智能控制
- 可编程工艺参数：支持电压/电流曲线设定、功率斜坡调节及短路电流编程；
- 物联网集成：RS485通信接口，支持远程监控与无人值守运行。
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电弧抑制技术
- 灭弧响应时间≤3μS（优于行业标准20μS），自适应抑制异常辉光放电；
- 多重保护机制：过压（≥420V）、欠压（≤350V）、过流（≥22A）、过热（65℃报警）联动防护。
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输出稳定性
- 恒流模式输出，电流稳定率0.5%，纹波系数≤1%；
- 工频纹波抑制技术，控制精度达98%。
技术参数
参数名称 技术指标 参数名称 技术指标 输入电压 三相380V/50Hz正弦交流 输入过压保护阈值 ≥420V 输入电流 ≤50A 输入欠压保护阈值 ≤350V 输入电压误差 ≤额定值±10% 开机过冲电流 ≤150A 三相电压不平衡率 ≤5% 输出模式 恒流 输出功率上限 ≤20kW/模块 输出电压范围 ≤1kV 输出过压保护阈值 ≥1.1kV 输出电流范围 0-20A（连续可调） 输出过流保护阈值 ≥22A 输出纹波 ≤±1% 短路保护 支持 运行温度 0~40℃ 储存温度 0~70℃ 冷却系统 风冷+水冷 报警阈值 65℃ 高负载强制冷却 ≥60kW需开启水冷 工作海拔 ≤4500米（高原工况功率衰减率＜5%） 相对湿度 ≤90%，（无结露/结冰） 空气洁净度 禁用腐蚀性气体、导电粉尘及吸湿颗粒
应用领域
领域 代表应用 关键指标 技术价值 高端光学制造 平板显示ITO镀膜 方阻≤10Ω/□，透光率≥90% 提升触控灵敏度与显示清晰度 光伏电池减反层 光电转换效率↑15% 降低太阳能度电成本 卫星红外反射镜 耐候性＞10年 延长航天器服役寿命 半导体器件 晶圆铜/铝互连层 阶梯覆盖率＞95% 提升芯片良率 GaN器件氮化铝钝化层 击穿场强＞5MV/cm 增强射频器件稳定性 新能源器件 燃料电池双极板金涂层 接触电阻<5mΩ·cm² 降低燃料电池内阻损耗 锂电池铜箔碳涂层 循环寿命↑30% 延长电池使用寿命 特种工具强化 钻头DLC涂层 硬度＞4000HV 实现高硬度材料加工 冲压模具CrAlN镀层 寿命延长8倍 降低模具更换频率 军工装备 导弹外壳屏蔽膜 屏蔽效能＞80dB 保障制导系统抗干扰能力 炮管自润滑涂层 摩擦系数＜0.1 提升武器射击精度 航天防护 卫星抗原子氧涂层 原子氧侵蚀率↓90% 避免轨道环境失效 前沿科研 可穿戴设备银纳米线电极 弯折寿命＞10万次 推动柔性电子实用化
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100kW直流磁控溅射电源
