第四届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2020年学术年会在季华实验室举行，南方科技大学、电子科技大学、中科院沈阳科学仪器研制中心、中科院力学研究所等高校和科研院所的专家教授齐聚佛山，共话真空科技创新发展。

图1-广东省真空学会2020年学术年会在季华实验室举行

本次活动由广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办，季华实验室承办。广东省真空学会理事长刘彭义表示，佛山在真空界发展非常快，季华实验室成立的第一个部门也属于真空领域，在半导体行业具有引领作用，因此今年的活动选择在佛山举办是非常有意义的。

季华实验室副主任陈俊江介绍，半导体技术与装备是季华实验室主要研究方向之一。实验室参与了微纳电子国家实验室(张江)广州基地建设，承担国产装备及关键零部件项目研发工作。接下来，实验室将联合集成电路产业技术联盟和集成电路零部件产业联盟，加强实验室与企业、高校和科研机构的创新交流合作，推动科技资源与人才的共享，打造半导体协同创新平台；布局“十四五”，积极承担国家、广东省重大任务；在佛山规划建设半导体装备零部件产业集群创新示范区。

图2-展会嘉宾

“佛山是全国工业体系最完备、工业技术最雄厚的城市之一。”佛山市科学技术局党组书记、副局长薛立伟也借此机会向与会嘉宾大力推介佛山，重点介绍了佛山的产业经济、科技创新及交通等情况。他表示，市科技局将和季华实验室共同努力，打造企业为主体、市场为导向、产学研深度融合的创新体系，为来佛山创新创业的科学家、科技工作者提供更好的服务。

佛山诺亚电器有限公司是个高科技研发企业，在这次真空学会实验展会中诺亚电器研发人员展示大功率磁控溅射电源，直流电源、中频电源、偏压电源、多功能镀膜电源等产品，而多功能镀膜电源具有多项目创新功能，受到了真空镀膜设备生产企业的关注。

图3-诺亚电器研发人员正在与嘉宾交流